저항 프루빙

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DMM으로 저항 측정
1. 2016/09/11, 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 실리콘웨이퍼, 6인치, MEMS 마이크로히터
  1. 동영상
  2. 6인치 웨이퍼 로딩
    - 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 척 표면을 산업용 커팅 칼로 깍아 이물 제거
  3. 프루빙 바늘
    - 프루빙 준비
    - 4-wire ohm
  4. 이동 좌표를 입력하기 위해
    - 6인치 웨이퍼 스캐닝
    - 좌표 .XY 입력
  5. 저항 측정 결과
    - 사분면 각각 다른 패턴이다.
    - 4분면 저항
    - 각 분면 평균에 대한 %
2. 웨이퍼 막 저항 측정
  1. 웨이퍼
    - Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함
    - d=100mm, t=0.64mm
  2. 202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정
    - 2-wire 오옴 +-40% @11오옴
    - 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴
  3. 202/05/24
    - X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.
Agilent 4339B 계측기로 측정한 절연저항(IR) 측정
1. IR 측정 동영상
2. 정전용량 프루빙을 하면서
  - 10GΩ근처값을 보인다.