TEG; Test Element Group
저항측정을 위한 잉크R 테스트 패턴 TEG
4단자 측정
레이어별 공정 진행
얼라인 키
DDI 본딩된 곳
LCD 가장자리
다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음
M606A Tek, 8-bit 분해능을 갖기 때문에 256개 voltage comparator가 있다.
TEG
여러 개 TEG 중 하나
TEG 막대기 폭 1.5um, 우하단: 1차전극 2차전극 정렬도 검사 패턴