140일, 3시간, 41분 - Togotech

"프루버"의 두 판 사이의 차이
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프루버
 
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<li> [[프루버]]
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<li> [[EG 2001X 프루버]]
 
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 +
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 +
<li> [[포지셔너]]
 +
<li> [[잉커]]
 +
<li> [[프루브카드]]
 +
<li> [[에지 센서]]
 
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−
<li>투고기술 보유, EG2001X 프루버
+
<li>프루버 동작
 
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−
<li>메뉴얼
+
<li> [[프루버 프로그래밍]]
 +
<li> [[이동 좌표 생성]]
 +
</ol>
 +
<li>프루빙
 
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−
<li>  
+
<li> [[실리콘 다이오드 웨이퍼]]
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<li>  
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<li> [[LED 프루빙]]
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<li>  
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<li> [[저항 프루빙]]
−
<li>EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
+
<li> [[정전용량 프루빙]]
 +
</ol>
 +
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</ol>
 
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−
<li>분석 엑셀
+
<li>참고
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
+
<li> 프루빙 서비스
 +
<li> [[웨이퍼]]
 +
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</ol>
 
</ol>
−
<li>동작 프로그램
+
<li>참고 자료
 
<ol>
 
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−
<li>본체 GPIB 주소: 702
+
<li>반도체 웨이퍼 테스트 워크샵 semiconductor wafer test workshop - 319p
−
<li>기본 prober01.ibw [[prober01-ibw.txt]]
+
<li>Keythley S530 반도체 파라메터 테스트 시스템, V-I 및 V-C 측정을 프루버에서 측정할 수 있게 만든 시스템
−
<li>칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober02.ibw [[prober03-ibw.txt]]
 
−
<li>주요 명령어
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>?P 다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
+
<li>KTE 소프트웨어 매뉴얼
−
<li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1단위이다. 그러므로 1/10해야 한다.
+
<li>회사별 프루버 드라이버 매뉴얼
 
</ol>
 
</ol>
 +
<li>수식
 +
<ol>
 +
<li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]]
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>프루버 본체 등
+
<li>분석 엑셀
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
+
<li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
−
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+
</ol>
−
image:140507_140730.jpg
 
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</gallery>
 
−
<li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
 
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image:eg2001x_001.jpg
 
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image:eg2001x_002.jpg
 
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−
<li>14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능)
 
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image:140912_172756.jpg
 
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<li>20/04/20 [[CRT]] 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
 
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image:eg2001x_003.jpg
 
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 +
<li>투고기술 보유, EG2001X 프루버
 +
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<li>프루빙 장면
 
<li>프루빙 장면
 
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image:140625_161014.jpg
 
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<li>16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
 
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image:6inch01_001.jpg | 6인치 웨이퍼 로딩
 
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image:6inch01_002.jpg | 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거
 
−
image:6inch01_003.jpg | 프루빙 준비
 
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image:6inch01_004.jpg | 프루빙
 
−
image:6inch01_005.jpg | 6인치 웨이퍼 스캐닝
 
−
image:6inch01_006.jpg | 좌표 .XY 입력
 
−
image:6inch01_007.jpg | 사분면 각 다른 패턴-저항 측정
 
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image:6inch01_008.jpg | 4분면 저항
 
−
image:6inch01_009.jpg | 각 분면 평균에 대한 %
 
 
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<li>20/04/19 문제없이 돌아감
 
<li>20/04/19 문제없이 돌아감
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−
<li>포지셔너
+
<li>간이 프루버
 
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<ol>
−
<li>10/05/27 인계동사무실에서
+
<li>2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
 +
<li>사진
 
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−
image:positioner01_001.jpg
+
image:prober2_001.jpg | 16/02/05
 +
image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
 +
image:prober2_002_1.jpg | 빨강 도면 제작할 것.
 +
image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.
 
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−
<li>15/08/17
+
</ol>
 +
<li> [[가스센서]]용
 +
<ol>
 +
<li>가스 챔버용 [[프루버]]와 [[포지셔너]]
 +
<ol>
 +
<li>2024/07/04 [[나노코리아 / 레이저코리아 / 첨단세라믹 / 접착코팅필름산업전 / 스마트센서코리아 2024]] - 이 페이지
 
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−
image:probe2_001.jpg | ,
+
image:nano_korea2024_004.jpg | 가스챔버 밑면에 히터. [[4-Point Probe]]를 위한 [[프루버]] 및 [[포지셔너]]
−
image:probe1_001.jpg
 
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<li>15/09/14
 
−
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image:probe2_002.jpg
 
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image:probe2_004.jpg
 
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−
<li>20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
 
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image:probe2_005.jpg
 
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image:probe2_006.jpg
 
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−
<li>20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
 
−
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−
image:probe2_007.jpg
 
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<li>간이 프루버
+
</ol>
 +
<li>온도 특성 측정용
 +
<ol>
 +
<li>Simtrum 회사 홈 페이지 https://www.simtrum.com/
 +
<ol>
 +
<li>Heating & Cryo Stages for Microscopy, -190'C~1200'C
 
<ol>
 
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−
<li><gallery>
+
<li> - 7p
−
image:prober2_001.jpg | 16/02/05
+
</ol>
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image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
+
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image:prober2_002_1.jpg | 빨강 도면 제작할 것.
+
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image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.
 
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2024년 7월 10일 (수) 09:31 기준 최신판

프루버

  1. 전자부품
    1. 기구
      1. 프루버 - 이 페이지
        1. 모델
          1. EG 2001X 프루버
        2. 액세서리
          1. 포지셔너
          2. 잉커
          3. 프루브카드
          4. 에지 센서
        3. 프루버 동작
          1. 프루버 프로그래밍
          2. 이동 좌표 생성
        4. 프루빙
          1. 실리콘 다이오드 웨이퍼
          2. LED 프루빙
          3. 저항 프루빙
          4. 정전용량 프루빙
    2. 참고
      1. 프루빙 서비스
      2. 웨이퍼
  2. 참고 자료
    1. 반도체 웨이퍼 테스트 워크샵 semiconductor wafer test workshop - 319p
    2. Keythley S530 반도체 파라메터 테스트 시스템, V-I 및 V-C 측정을 프루버에서 측정할 수 있게 만든 시스템
      1. KTE 소프트웨어 매뉴얼
      2. 회사별 프루버 드라이버 매뉴얼
    3. 수식
      1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
    4. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
  3. 투고기술 보유, EG2001X 프루버
    1. 프루빙 장면
      1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
        • 140512 153814.jpg
        • 140512 175648.jpg
      2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
        • 140625 161014.jpg
      3. 20/04/19 문제없이 돌아감
  4. 압전 연구실 2017/04/20
    • eg2001x02 001.jpg
  5. Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
      1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
        • tokyo seimitsu01 001.jpg

        • EM-20, Semiconductor Tester

        • tokyo seimitsu01 003.jpg

        • A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine

      2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
        • tokyo seimitsu01 002.jpg

        • EM-20A, Semiconductor Tester

  6. 간이 프루버
    1. 2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
    2. 사진

      • 16/02/05

      • 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정

      • 빨강 도면 제작할 것.

      • 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.

  7. 가스센서용
    1. 가스 챔버용 프루버와 포지셔너
      1. 2024/07/04 나노코리아 / 레이저코리아 / 첨단세라믹 / 접착코팅필름산업전 / 스마트센서코리아 2024 - 이 페이지
  8. 온도 특성 측정용
    1. Simtrum 회사 홈 페이지 https://www.simtrum.com/
      1. Heating & Cryo Stages for Microscopy, -190'C~1200'C
        1. - 7p
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