136일, 11시간, 3분 - Togotech

"프루버"의 두 판 사이의 차이
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프루버
 
프루버
 
<ol>
 
<ol>
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<li>링크
+
<li> [[전자부품]]
 
<ol>
 
<ol>
−
<li> [[전자부품]]
+
<li>기구
 
<ol>
 
<ol>
 
<li> [[프루버]] - 이 페이지
 
<li> [[프루버]] - 이 페이지
−
<li> [[LED 프루빙]]
 
−
</ol>
 
−
</ol>
 
−
<li>투고기술 보유, EG2001X 프루버
 
−
<ol>
 
−
<li>메뉴얼
 
−
<ol>
 
−
<li>
 
−
<li>
 
−
<li>
 
−
<li>EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
 
−
<li> - 244p
 
−
<li>보유 3권
 
−
<ol>
 
−
<li>2020/06/04 촬영
 
−
<gallery>
 
−
image:eg_manual01_001.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>Mechanical Interface Reference Drawing
 
−
<gallery>
 
−
image:eg_manual02_001.jpg
 
−
image:eg_manual02_002.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>Reference Drawing, Vol.1
 
−
<gallery>
 
−
image:eg_manual03_001.jpg
 
−
image:eg_manual03_002.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>Reference Drawing, Vol.2
 
−
<gallery>
 
−
image:eg_manual04_001.jpg
 
−
image:eg_manual04_002.jpg
 
−
</gallery>
 
−
</ol>
 
−
</ol>
 
−
<li>수식
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]]
+
<li>모델
−
<li>이동 좌표발생 프로그램 [[xy-ibw.txt]]
 
−
<gallery>
 
−
image:xy01_001.png
 
−
image:xy01_002.png
 
−
</gallery>
 
−
</ol>
 
−
<li>분석 엑셀
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
+
<li> [[EG 2001X 프루버]]
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>동작 프로그램
+
<li>액세서리
−
<ol>
 
−
<li>본체 GPIB 주소: 702
 
−
<li>프로그램 소스
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 [[prober01-ibw.txt]]
+
<li> [[포지셔너]]
−
<li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 [[prober02-ibw.txt]]
+
<li> [[잉커]]
−
<li>칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 [[prober03-ibw.txt]]
+
<li> [[프루브카드]]
−
<li>다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. [[prober04-ibw.txt]]
+
<li> [[에지 센서]]
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답
+
<li>프루버 동작
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.
+
<li> [[프루버 프로그래밍]]
−
<li>X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP
+
<li> [[이동 좌표 생성]]
−
<li>Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>주요 action 명령어
+
<li>프루빙
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
+
<li> [[실리콘 다이오드 웨이퍼]]
−
<li>HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
+
<li> [[LED 프루빙]]
−
<ol>
+
<li> [[저항 프루빙]]
−
<li>MF :First die로 이동
+
<li> [[정전용량 프루빙]]
−
<li>FD :현재 위치를 First die로 지정함.
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF
 
−
<li>MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
 
−
<ol>
 
−
<li>MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999)  1이면 2.5um
 
−
<ol>
 
−
<li>MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)
+
<li>참고
−
<li>PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
 
−
<li>SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
 
−
<li>ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.
+
<li> 프루빙 서비스
−
<li>ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
+
<li> [[웨이퍼]]
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>VAn :척 진공 n=0/1 on/off
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>주요 query 명령어
+
<li>참고 자료
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>?A0 :Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
+
<li>반도체 웨이퍼 테스트 워크샵 semiconductor wafer test workshop - 319p
 +
<li>Keythley S530 반도체 파라메터 테스트 시스템, V-I 및 V-C 측정을 프루버에서 측정할 수 있게 만든 시스템
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
+
<li>KTE 소프트웨어 매뉴얼
 +
<li>회사별 프루버 드라이버 매뉴얼
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>?F :마이크로 위치좌료. XnYnSn X,Y는 1um 단위
+
<li>수식
−
<li>?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 2.54um단위 기계좌표단위. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
 
−
<li>?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
 
−
<li>?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
 
−
<li>?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
 
−
<li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1단위이다. 그러므로 1/10해야 한다.
 
−
</ol>
 
−
</ol>
 
−
<li>프루버 본체 등
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>Platen Base Assembly 도면 - 11p
+
<li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]]
−
<gallery>
 
−
image:eg_manual05_001.jpg
 
−
image:eg_manual05_002.jpg
 
−
image:eg_manual05_003.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
 
−
<gallery>
 
−
image:140507_140730.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>ring carrier - 주황색 판을 말한다.
 
−
<li>Chuck - hot 척이다.
 
−
<ol>
 
−
<li>6인치(=150mm) 척 표면
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck00_001.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
 
−
<li>접지와 연결
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck01_001.jpg | M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.
 
−
image:eg2001_chuck01_002.jpg
 
−
image:eg2001_chuck01_003.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck03_001.jpg | X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.
 
−
image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
 
−
</gallery>
 
−
<li>높이 정밀도 측정
 
−
<ol>
 
−
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck03_003.jpg | Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면
 
−
image:eg2001_chuck03_004.jpg | 원점
 
−
image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um
 
−
</gallery>
 
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>수평 측정
+
<li>분석 엑셀
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>개요
+
<li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck02_004.png | 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.
 
−
</gallery>
 
−
<li>2020/06/06 [[레이저변위]] 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
 
−
<ol>
 
−
<li>측정 사진
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck02_001.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>진공구멍이 있는 척 상태로
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck02_002.jpg
 
−
image:eg2001_chuck02_002_001.png
 
−
</gallery>
 
−
<li>150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck02_003.jpg
 
−
image:eg2001_chuck02_003_001.png
 
−
</gallery>
 
−
</ol>
 
−
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck03_006.jpg | 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um
 
−
image:eg2001_chuck03_007.jpg | 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um
 
−
</gallery>
 
−
<li>2020/06/07 수평교정
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_chuck03_009.jpg | 수평조절용 볼트 3군데
 
−
image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전
 
−
image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후
 
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</gallery>
 
−
</ol>
 
−
<li>hot chuck 분해
 
−
<ol>
 
−
<li>2020/06/07 첫 분해
 
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−
image:eg2001_chuck04_001.jpg
 
−
image:eg2001_chuck04_002.jpg | 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.
 
−
image:eg2001_chuck04_003.jpg | 온도센서가 부착된 곳
 
−
</gallery>
 
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>링(ring)
+
<li>투고기술 보유, EG2001X 프루버
−
<ol>
 
−
<li>"프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
 
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<gallery>
 
−
image:eg2001_ring01_001.jpg
 
−
image:eg2001_ring01_002.jpg
 
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</gallery>
 
−
<li>14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001_ring02_001.jpg
 
−
image:140912_172756.jpg
 
−
</gallery>
 
−
</ol>
 
−
<li>모니터
 
−
<ol>
 
−
<li>20/04/20 [[CRT]] 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001x_003.jpg
 
−
</gallery>
 
−
</ol>
 
−
<li>바퀴 관련
 
−
<ol>
 
−
<li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001x_001.jpg
 
−
image:eg2001x_002.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>20/05/26 바퀴 방향을 돌림
 
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
 
−
<gallery>
 
−
image:eg2001x_004.jpg
 
−
image:eg2001x_005.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
 
−
<gallery>
 
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image:furniture_mover01_004.jpg
 
−
image:eg2001x_006.jpg | 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm
 
−
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−
</ol>
 
−
</ol>
 
−
</ol>
 
 
<li>프루빙 장면
 
<li>프루빙 장면
 
<ol>
 
<ol>
248번째 줄: 67번째 줄:
 
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image:140625_161014.jpg
 
image:140625_161014.jpg
−
</gallery>
 
−
<li>16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
 
−
<gallery>
 
−
image:6inch01_001.jpg | 6인치 웨이퍼 로딩
 
−
image:6inch01_002.jpg | 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거
 
−
image:6inch01_003.jpg | 프루빙 준비
 
−
image:6inch01_004.jpg | 프루빙
 
−
image:6inch01_005.jpg | 6인치 웨이퍼 스캐닝
 
−
image:6inch01_006.jpg | 좌표 .XY 입력
 
−
image:6inch01_007.jpg | 사분면 각 다른 패턴-저항 측정
 
−
image:6inch01_008.jpg | 4분면 저항
 
−
image:6inch01_009.jpg | 각 분면 평균에 대한 %
 
 
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</gallery>
 
<li>20/04/19 문제없이 돌아감
 
<li>20/04/19 문제없이 돌아감
−
</ol>
 
−
<li>웨이퍼 막 저항 측정
 
−
<ol>
 
−
<li>웨이퍼
 
−
<gallery>
 
−
image:100wafer02_001.jpg | Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함
 
−
image:100wafer02_002.jpg
 
−
image:100wafer02_003.jpg | d=100mm, t=0.64mm
 
−
</gallery>
 
−
<li>202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정
 
−
<gallery>
 
−
image:probe02_001.png | 2-wire 오옴 +-40% @11오옴
 
−
image:probe02_002.png | 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴
 
−
</gallery>
 
−
<li>202/05/24
 
−
<gallery>
 
−
image:probe02_003.png | X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.
 
−
</gallery>
 
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
304번째 줄: 93번째 줄:
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>포지셔너
+
<li>간이 프루버
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>10/05/27 인계동사무실에서
+
<li>2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
 +
<li>사진
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:positioner01_001.jpg
+
image:prober2_001.jpg | 16/02/05
 +
image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
 +
image:prober2_002_1.jpg | 빨강 도면 제작할 것.
 +
image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>15/08/17
+
</ol>
 +
<li> [[가스센서]]용
 +
<ol>
 +
<li>가스 챔버용 [[프루버]]와 [[포지셔너]]
 +
<ol>
 +
<li>2024/07/04 [[나노코리아 / 레이저코리아 / 첨단세라믹 / 접착코팅필름산업전 / 스마트센서코리아 2024]] - 이 페이지
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:probe2_001.jpg | ,
+
image:nano_korea2024_004.jpg | 가스챔버 밑면에 히터. [[4-Point Probe]]를 위한 [[프루버]] 및 [[포지셔너]]
−
image:probe1_001.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>15/09/14
 
−
<gallery>
 
−
image:probe2_002.jpg
 
−
image:probe2_003.jpg
 
−
image:probe2_004.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
 
−
<gallery>
 
−
image:probe2_005.jpg
 
−
image:probe2_006.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li>20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
 
−
<gallery>
 
−
image:probe2_007.jpg
 
−
image:probe2_008.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>간이 프루버
+
</ol>
 +
<li>온도 특성 측정용
 +
<ol>
 +
<li>Simtrum 회사 홈 페이지 https://www.simtrum.com/
 +
<ol>
 +
<li>Heating & Cryo Stages for Microscopy, -190'C~1200'C
 
<ol>
 
<ol>
−
<li><gallery>
+
<li> - 7p
−
image:prober2_001.jpg | 16/02/05
+
</ol>
−
image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
+
</ol>
−
image:prober2_002_1.jpg | 빨강 도면 제작할 것.
+
</ol>
−
image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.
 
−
</gallery>
 
 
</ol>
 
</ol>

2024년 7월 10일 (수) 09:31 기준 최신판

프루버

  1. 전자부품
    1. 기구
      1. 프루버 - 이 페이지
        1. 모델
          1. EG 2001X 프루버
        2. 액세서리
          1. 포지셔너
          2. 잉커
          3. 프루브카드
          4. 에지 센서
        3. 프루버 동작
          1. 프루버 프로그래밍
          2. 이동 좌표 생성
        4. 프루빙
          1. 실리콘 다이오드 웨이퍼
          2. LED 프루빙
          3. 저항 프루빙
          4. 정전용량 프루빙
    2. 참고
      1. 프루빙 서비스
      2. 웨이퍼
  2. 참고 자료
    1. 반도체 웨이퍼 테스트 워크샵 semiconductor wafer test workshop - 319p
    2. Keythley S530 반도체 파라메터 테스트 시스템, V-I 및 V-C 측정을 프루버에서 측정할 수 있게 만든 시스템
      1. KTE 소프트웨어 매뉴얼
      2. 회사별 프루버 드라이버 매뉴얼
    3. 수식
      1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
    4. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
  3. 투고기술 보유, EG2001X 프루버
    1. 프루빙 장면
      1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
        • 140512 153814.jpg
        • 140512 175648.jpg
      2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
        • 140625 161014.jpg
      3. 20/04/19 문제없이 돌아감
  4. 압전 연구실 2017/04/20
    • eg2001x02 001.jpg
  5. Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
      1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
        • tokyo seimitsu01 001.jpg

        • EM-20, Semiconductor Tester

        • tokyo seimitsu01 003.jpg

        • A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine

      2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
        • tokyo seimitsu01 002.jpg

        • EM-20A, Semiconductor Tester

  6. 간이 프루버
    1. 2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
    2. 사진

      • 16/02/05

      • 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정

      • 빨강 도면 제작할 것.

      • 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.

  7. 가스센서용
    1. 가스 챔버용 프루버와 포지셔너
      1. 2024/07/04 나노코리아 / 레이저코리아 / 첨단세라믹 / 접착코팅필름산업전 / 스마트센서코리아 2024 - 이 페이지
  8. 온도 특성 측정용
    1. Simtrum 회사 홈 페이지 https://www.simtrum.com/
      1. Heating & Cryo Stages for Microscopy, -190'C~1200'C
        1. - 7p
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