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2024년 7월 10일 (수) 09:32 기준 최신판
EG 2001X 프루버
- 전자부품
- 기구
- 프루버
- EG 2001X 프루버 - 이 페이지
- 프루버 동작
- 프루버
- 기구
- 투고기술 보유, EG 2001X 프루버
- 메뉴얼
- A: EG 2001/2010/3001/4085 Prober Information - 6p
- 대략 어떤 그림들 - 13p
- GPIB 명령어 - 14p
- EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
- 2001X Basic Maintenance Training - 244p
- 보유 3권
- 2020/06/04 촬영
- Mechanical Interface Reference Drawing
- Reference Drawing, Vol.1
- Reference Drawing, Vol.2
- 2020/06/04 촬영
- 수식
- 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
- 분석 엑셀
- 반지름 특성 분석 엑셀 파일
- 주변 유틸리티
- 100V 트랜스포머
- 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
- 진공펌프
- DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
- 진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중
- 공기압축펌프
- 냉동식 수분 제거기
- 필터(main filter + mist separator)
- 100V 트랜스포머
- 프루버 본체 등
- 투고사무실에서
- Platen Base Assembly 도면 - 11p
- ring carrier - 주황색 판을 말한다.
- 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
- 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
- Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
- 설명
- 2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
- 알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
- platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
- palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
- 사진
- 설명
- Chuck - hot 척이다.
- 6인치(=150mm) 척 표면
- 형태
- 진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다.
- 형태
- 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
- 접지와 연결
- 높이
- 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
- 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
- 높이 정확도 측정
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
- 2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
- 현재 척이 너무 높다. 낮춰야 한다.
- 왜냐면, semi rigid coaxial cable로 만든 probe 핀의 외부도체가 바늘 높이와 비슷하여 웨이퍼와 닿아 문제를 일으킬 수 있다.
- 수평 측정
- 개요
- 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
- 측정 사진
- 진공구멍이 있는 척 상태로
- 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
- 측정 사진
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
- 2020/06/07 평행 평면을 만들기 위한 방법
- 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
- 출근해서 측정하니
- 두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
- 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
- 출근해서 측정하니
- 개요
- hot chuck 분해
- 2020/06/07 첫 분해
- 2020/06/07 첫 분해
- 6인치(=150mm) 척 표면
- 링(ring)
- "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
- 2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
- 2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
- "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
- 모니터
- 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
- 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
- 바퀴 관련
- 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
- 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
- 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
- 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
- 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
- 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
- 투고사무실에서
- 메뉴얼