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| (같은 사용자의 중간 판 4개는 보이지 않습니다) |
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| | 프루버 | | 프루버 |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>링크 | + | <li> [[전자부품]] |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li> [[전자부품]] | + | <li>기구 |
| | <ol> | | <ol> |
| | <li> [[프루버]] - 이 페이지 | | <li> [[프루버]] - 이 페이지 |
| | + | <ol> |
| | + | <li>모델 |
| | + | <ol> |
| | + | <li> [[EG 2001X 프루버]] |
| | + | </ol> |
| | + | <li>액세서리 |
| | <ol> | | <ol> |
| | <li> [[포지셔너]] | | <li> [[포지셔너]] |
| | <li> [[잉커]] | | <li> [[잉커]] |
| | <li> [[프루브카드]] | | <li> [[프루브카드]] |
| | + | <li> [[에지 센서]] |
| | </ol> | | </ol> |
| − | <li> [[LED 프루빙]] | + | <li>프루버 동작 |
| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>투고기술 보유, EG2001X 프루버
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| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>메뉴얼 | + | <li> [[프루버 프로그래밍]] |
| − | <ol>
| + | <li> [[이동 좌표 생성]] |
| − | <li>
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| − | <li>
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| − | <li>
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| − | <li>EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
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| − | <li> - 244p | |
| − | <li>보유 3권
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| − | <ol>
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| − | <li>2020/06/04 촬영
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| − | <gallery>
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| − | image:eg_manual01_001.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>Mechanical Interface Reference Drawing
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| − | <gallery>
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| − | image:eg_manual02_001.jpg
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| − | image:eg_manual02_002.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>Reference Drawing, Vol.1
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| − | <gallery>
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| − | image:eg_manual03_001.jpg
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| − | image:eg_manual03_002.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>Reference Drawing, Vol.2
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| − | <gallery>
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| − | image:eg_manual04_001.jpg
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| − | image:eg_manual04_002.jpg
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| − | </gallery>
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| | </ol> | | </ol> |
| − | </ol>
| + | <li>프루빙 |
| − | <li>수식 | |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]] | + | <li> [[실리콘 다이오드 웨이퍼]] |
| − | <li>이동 좌표발생 프로그램 [[xy-ibw.txt]] | + | <li> [[LED 프루빙]] |
| − | <gallery> | + | <li> [[저항 프루빙]] |
| − | image:xy01_001.png
| + | <li> [[정전용량 프루빙]] |
| − | image:xy01_002.png
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| − | </gallery> | |
| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>분석 엑셀
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| − | <ol>
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| − | <li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>동작 프로그램
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| − | <ol>
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| − | <li>본체 GPIB 주소: 402 (연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 400번이므로. 반면에 일반적으로 700번이다.)
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| − | <li>프로그램 소스
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| − | <ol>
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| − | <li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 [[prober01-ibw.txt]]
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| − | <li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 [[prober02-ibw.txt]]
| |
| − | <li>칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 [[prober03-ibw.txt]]
| |
| − | <li>다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. [[prober04-ibw.txt]]
| |
| − | <li>직각사각형 배열 [[prober06-ibw.txt]]
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답 | + | <li>참고 |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다. | + | <li> 프루빙 서비스 |
| − | <li>X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP | + | <li> [[웨이퍼]] |
| − | <li>Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>주요 action 명령어
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| − | <ol>
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| − | <li>FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
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| − | <li>HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
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| − | <ol>
| |
| − | <li>MF :First die로 이동
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| − | <li>FD :현재 위치를 First die로 지정함.
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF | + | <li>참고 자료 |
| − | <li>MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
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| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝 | + | <li>반도체 웨이퍼 테스트 워크샵 semiconductor wafer test workshop - 319p |
| − | </ol>
| + | <li>Keythley S530 반도체 파라메터 테스트 시스템, V-I 및 V-C 측정을 프루버에서 측정할 수 있게 만든 시스템 |
| − | <li>MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um | |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동 - 투고기술 프루버에서는 인식할 수 없는 명령어라고 나옴. | + | <li>KTE 소프트웨어 매뉴얼 |
| | + | <li>회사별 프루버 드라이버 매뉴얼 |
| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝) | + | <li>수식 |
| − | <li>PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
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| − | <li>SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
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| − | <li>ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
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| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임. | + | <li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]] |
| − | <li>ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>VAn :척 진공 n=0/1 on/off | + | <li>분석 엑셀 |
| − | </ol>
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| − | <li>주요 query 명령어
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| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨 | + | <li>반지름 특성 분석 엑셀 파일 |
| − | <ol>
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| − | <li>?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.
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| − | <ol>
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| − | <li>platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
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| − | <li>현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm
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| − | <li>Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.
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| | </ol> | | </ol> |
| − | <li>?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨. | + | <li>투고기술 보유, EG2001X 프루버 |
| − | <ol>
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| − | <li>Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,
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| − | <li>Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.
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| − | <li>Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.
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| − | </ol>
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| − | <li>?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
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| − | <li>?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
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| − | <ol>
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| − | <li>읽어보니, +7430~-7603이 나온다.
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| − | </ol>
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| − | <li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.
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| − | <ol>
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| − | <li>200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>주변 유틸리티
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| − | <ol>
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| − | <li>100V 트랜스포머
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| − | <ol>
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| − | <li>220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
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| − | </ol>
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| − | <li>진공펌프
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| − | <ol>
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| − | <li> [[DA-60D]] 진공펌프를 사용하고 있다.
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| − | </ol>
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| − | <li>공기압축펌프
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| − | <ol>
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| − | <li>냉동식 수분 제거기
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| − | <li>필터(main filter + mist separator)
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>프루버 본체 등
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| − | <ol>
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| − | <li>투고사무실에서
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| − | <gallery>
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| − | image:140507_140730.jpg | 2014/05/02 투고기술에 설치.
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| − | image:140616_162020.jpg | 2014/06/16
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| − | </gallery>
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| − | <li>Platen Base Assembly 도면 - 11p
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| − | <gallery>
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| − | image:eg_manual05_001.jpg
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| − | image:eg_manual05_002.jpg
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| − | image:eg_manual05_003.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>ring carrier - 주황색 판을 말한다.
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| − | <li>Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
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| − | <ol>
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| − | <li>설명
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| − | <ol>
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| − | <li>2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
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| − | <li>알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
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| − | <li>platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
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| − | <li>palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
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| − | </ol>
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| − | <li>사진
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_forcer01_001.jpg
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | <li>Chuck - hot 척이다.
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| − | <ol>
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| − | <li>6인치(=150mm) 척 표면
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| − | <ol>
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| − | <li>형태
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck00_001.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>진공구멍이 측정값에 영향을 줄 때
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| − | <ol>
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| − | <li>100mm 어떤 웨이퍼에서 C값을 측정하면
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| − | <gallery>
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| − | image:x063y079_01c_001.png
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| − | </gallery>
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| − | <li>웨이퍼 밑에 [[천공]]된 금속판을 놓고
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| − | <gallery>
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| − | image:hole_grid_vacuum_plate01_009.jpg | 100mm 웨이퍼를 올려놓은 후
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| − | image:x063y079_01c_002.png
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
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| − | <li>접지와 연결
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck01_001.jpg | M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.
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| − | image:eg2001_chuck01_002.jpg
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| − | image:eg2001_chuck01_003.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>높이
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| − | <ol>
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| − | <li>척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
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| − | <li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_001.jpg | X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.
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| − | image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
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| − | </gallery>
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| − | <li>높이 정확도 측정
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| − | <ol>
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| − | <li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_003.jpg | Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면
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| − | image:eg2001_chuck03_004.jpg | 원점
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| − | image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um
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| − | </gallery>
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| − | <li>2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>수평 측정
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| − | <ol>
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| − | <li>개요
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck02_004.png | 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.
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| − | </gallery>
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| − | <li>2020/06/06 [[레이저변위]] 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
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| − | <ol>
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| − | <li>측정 사진
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck02_001.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>진공구멍이 있는 척 상태로
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck02_002.jpg
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| − | image:eg2001_chuck02_002_001.png
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| − | </gallery>
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| − | <li>150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck02_003.jpg
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| − | image:eg2001_chuck02_003_001.png
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | <li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_006.jpg | 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um
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| − | image:eg2001_chuck03_007.jpg | 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um
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| − | </gallery>
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| − | <li>2020/06/07 수평교정
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_009.jpg | 수평조절용 볼트 3군데
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| − | image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전
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| − | image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후
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| − | </gallery>
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| − | <li>2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
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| − | <ol>
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| − | <li>출근해서 측정하니
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_010.png | 이틀 사이에 높낮이 차이가 발생되었다.
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| − | image:eg2001_chuck03_011.png | 시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)
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| − | </gallery>
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| − | <li>두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_013.png | 리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나? - 그렇다 리니어모터의 가장 큰 단점이다. 또, 압축공기로 forcer를 부양시키므로 압축공기 온도에 의존하는가?
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| − | </gallery>
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| − | <li>어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck03_012.png | 높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>hot chuck 분해
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| − | <ol>
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| − | <li>2020/06/07 첫 분해
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_chuck04_001.jpg
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| − | image:eg2001_chuck04_002.jpg | 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.
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| − | image:eg2001_chuck04_003.jpg | 온도센서가 부착된 곳
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | </ol>
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| − | <li>링(ring)
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| − | <ol>
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| − | <li>"프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_ring01_001.jpg
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| − | image:eg2001_ring01_002.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001_ring02_001.jpg
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| − | image:140912_172756.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
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| − | </ol>
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| − | <li>모니터
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| − | <ol>
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| − | <li>20/04/20 [[CRT]] 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001x_003.jpg
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| − | <li>바퀴 관련
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| | <ol> | | <ol> |
| − | <li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001x_001.jpg
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| − | image:eg2001x_002.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>20/05/26 바퀴 방향을 돌림
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| − | <ol>
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| − | <li>캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
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| − | <gallery>
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| − | image:eg2001x_004.jpg
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| − | image:eg2001x_005.jpg
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| − | </gallery>
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| − | <li>가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
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| − | <gallery>
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| − | image:furniture_mover01_004.jpg
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| − | image:eg2001x_006.jpg | 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm
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| − | </gallery>
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| − | </ol>
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| | <li>프루빙 장면 | | <li>프루빙 장면 |
| | <ol> | | <ol> |
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67번째 줄: |
| | <gallery> | | <gallery> |
| | image:140625_161014.jpg | | image:140625_161014.jpg |
| − | </gallery>
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| − | <li>16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
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| − | <gallery>
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| − | image:6inch01_001.jpg | 6인치 웨이퍼 로딩
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| − | image:6inch01_002.jpg | 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거
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| − | image:6inch01_003.jpg | 프루빙 준비
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| − | image:6inch01_004.jpg | 프루빙
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| − | image:6inch01_005.jpg | 6인치 웨이퍼 스캐닝
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| − | image:6inch01_006.jpg | 좌표 .XY 입력
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| − | image:6inch01_007.jpg | 사분면 각 다른 패턴-저항 측정
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| − | image:6inch01_008.jpg | 4분면 저항
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| − | image:6inch01_009.jpg | 각 분면 평균에 대한 %
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| | </gallery> | | </gallery> |
| | <li>20/04/19 문제없이 돌아감 | | <li>20/04/19 문제없이 돌아감 |
| − | </ol>
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| − | <li>웨이퍼 막 저항 측정
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| − | <ol>
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| − | <li>웨이퍼
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| − | <gallery>
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| − | image:100wafer02_001.jpg | Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함
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| − | image:100wafer02_002.jpg
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| − | image:100wafer02_003.jpg | d=100mm, t=0.64mm
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| − | </gallery>
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| − | <li>202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정
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| − | <gallery>
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| − | image:probe02_001.png | 2-wire 오옴 +-40% @11오옴
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| − | image:probe02_002.png | 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴
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| − | </gallery>
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| − | <li>202/05/24
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| − | <gallery>
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| − | image:probe02_003.png | X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.
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| − | </gallery>
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| | </ol> | | </ol> |
| | </ol> | | </ol> |
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95번째 줄: |
| | <li>간이 프루버 | | <li>간이 프루버 |
| | <ol> | | <ol> |
| − | <li><gallery> | + | <li>2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함 |
| | + | <li>사진 |
| | + | <gallery> |
| | image:prober2_001.jpg | 16/02/05 | | image:prober2_001.jpg | 16/02/05 |
| | image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정 | | image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정 |
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103번째 줄: |
| | image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음. | | image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음. |
| | </gallery> | | </gallery> |
| | + | </ol> |
| | + | <li> [[가스센서]]용 |
| | + | <ol> |
| | + | <li>가스 챔버용 [[프루버]]와 [[포지셔너]] |
| | + | <ol> |
| | + | <li>2024/07/04 [[나노코리아 / 레이저코리아 / 첨단세라믹 / 접착코팅필름산업전 / 스마트센서코리아 2024]] - 이 페이지 |
| | + | <gallery> |
| | + | image:nano_korea2024_004.jpg | 가스챔버 밑면에 히터. [[4-Point Probe]]를 위한 [[프루버]] 및 [[포지셔너]] |
| | + | </gallery> |
| | + | </ol> |
| | + | </ol> |
| | + | <li>온도 특성 측정용 |
| | + | <ol> |
| | + | <li>Simtrum 회사 홈 페이지 https://www.simtrum.com/ |
| | + | <ol> |
| | + | <li>Heating & Cryo Stages for Microscopy, -190'C~1200'C |
| | + | <ol> |
| | + | <li> - 7p |
| | + | </ol> |
| | + | </ol> |
| | + | </ol> |
| | </ol> | | </ol> |
